レチクル・フォトマスク製造メーカー 株式会社システムアドバンス

ガラス材質特性

ガラス材質特性

ガラス材料と特性 ソーダ石灰 合成石英
組成 SiO2 72.5 100
Al2O3 2
B2O3
RO 12
R2O 13.5
熱的性質 熱膨張係数(X10-7/℃) 81 6
転移点(℃) 562
軟化点(℃) 740 1600
除冷点(℃) 554 1120
歪点(℃)  511  1000
熱伝導率(cal/cm・sec・℃) 2.4X10-3 3.3X10-3
比熱(cal/g・℃)at70℃ 0.22 0.19
耐熱衝撃性(4℃) 85 1000以上
光学的性質 透過率(%)
at400nm(2.3t) 90 92
at500nm(2.3t) 90.5 92.5
屈折率(%) 1.52 1.46
化学的性質 耐水性(mg/cm2 0.016 0.001
耐酸性(mg/cm2 0.002 0.000
耐アルカリ性(mg/cm2 0.042 0.032
接触角(度) 6.7
機械的性質 比重 2.49 2.20
ヤング率(kg/mm2 7.300 7.340
剛性率(kg/mm2 3.020 3.160
ポアソン比 0.21 0.16
ヌープ硬度(kg/mm2 540 650
曲強度(kg/mm2:100x20X3mm) 670 740
電気的性質 体積抵抗率Log10(Ω・cm)
at150℃ 8.8
at200℃ 7.7 12.5
at300℃ 5.9 10.5
誘電率 at1MHz・R・T 7.5 4.0