製品情報

フォトマスクPhotomask

当社がご提供するフォトマスクは、フィルムマスクからエマルジョンガラスマスク（青板ガラス）、クロムガラスマスク（青板・合成石英）まで、お客様の用途に応じ幅広く取り揃えております。
さらに、フォトマスク作製のための環境・設備、それらを効果的に取り扱う人材との融合により一貫生産されたフォトマスクは、高品質・短納期・低価格を実現し、お客様にご満足いただけるフォトマスクのご提供をお約束します。
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マスク種類	クロムガラスマスク				エマルジョンガラスマスク	フィルムマスク
描画精度	mode A	mode B	mode C	mode D	mode B	mode A
最大感材サイズ（inch）	9×9	10×10	28×32	28×32	28×32	28×32
最小LS（um）	1（1μm未満は要相談）	1（1μm未満は要相談）	4	6	20	30
線幅精度（um） ※デザインによる	±0.1～0.2	±0.2～0.3	±0.5	±1.0	±2.0	±4.0
基板材質	合成石英	合成石英青板	合成石英青板	合成石英青板	青板	PET
対応可能な表面処理	ペリクルハードコート	ペリクルハードコート	ハードコート	ハードコート	ハードコート	ラミネート
価格性	△	△	△	△	◯	◎
微細性	◎	◎	◎	◎	◯	△
耐久性	◎	◎	◎	◎	◯*1	△

*1 ハードコート処理により耐久性の向上を可能にします。

フォトマスクサイズに関しては、各種取り揃えております。
クロムマスクは、単層・２層クロム・３層クロム、その他各種取り揃えております。
貴社マスク仕様に合わせてご提供させていただきます。（ガラスカットによる特殊サイズにも対応）お気軽にご相談ください。

ペリクルPellicle

電子機器の小型化・高性能化に伴い、マスク表面の異物対策の重要性が今まで以上にシビアになっており、パーティクル付着の防止や、マスク洗浄回数の低減など、マスクメンテナンスを容易にし、製品歩留まりの向上に貢献いたします。
また、ペリクルの貼り替えなどのメンテナンスにも対応しております。

ペリクル特性

光線透過率	反射防止コーティングにより、多角安定した光線透過率が得られます。
強度	エアブローによる異物除去も安心して行えます。
対応サイズ	各種サイズ対応いたします。（350mm×350mmまで対応可能です。）お気軽にご相談ください。

ハードコートHard　Court

当社では、ガラスマスクの表面上を樹脂で覆い、マスク清掃のし易さや、清掃時に発生するキズの抑制、クロムマスクにおける静電破壊の防止等に効果のあるコーティングマスクを開発しました。
抜群の離型性を持ち、露光時におけるレジスト等の付着を大幅に軽減するとともに、ウェット環境でのマスククリーニングが可能となります。

メリット

膜面（エマルジョン・クロム）の保護

優れた防汚性
取り扱い（清掃）の簡易性
ファインパターン解像性向上（エマルジョン）

ハードコート仕様

項目	通常ハードコート	薄膜ハードコート	備考
使用樹脂	シリコーン系樹脂	フッ素系樹脂	当社オリジナル
膜厚	2～3μｍ（面内分布±0.5μｍ）*1	10nm	*1:表面粗さ計
膜硬度	鉛筆硬度３Ｈ以上	鉛筆硬度４Ｈ以上	JIS K 5600-5-4 鉛筆硬度試験
光線透過率	365nmの波長において94％以上	365nmの波長において95％以上	分光光度計による測定
ＵＶ照射耐性	7200J/cmで透過率低下なし	15000J/cmで透過率低下なし	UV暴露試験(365nm波長)
密着度	碁盤目剥離試験100/100(1mm幅) 剥がれなし	碁盤目剥離試験100/100(1mm幅) 剥がれなし	セロハンテープ剥離試験
耐水性	純水浸漬試験塗膜変化なし	純水浸漬試験塗膜変化なし	純水浸漬60分
耐溶剤性	エタノール・IPA・MEK・アセトン塗膜変化なし	エタノール・IPA・MEK・アセトン塗膜変化なし	溶剤浸漬60分
耐薬品性	耐アルカリ：5％NaOH水溶液、耐酸：5％HCL水溶液塗膜変化なし	耐アルカリ：5％NaOH水溶液、耐酸：5％HCL水溶液塗膜変化なし	薬品浸漬60分
撥水性	接触角90°以上	接触角100°以上	接触角計による測定
離型性	1.1N/㎝（剥離速度300㎜/min）	－	セロハンテープ180°剥離
対応サイズ	4×4～28×32（単位：inch）	4×4～28×32（単位：inch）	－

マスク洗浄Mask Cleaning

マスク洗浄仕様

	クロムマスク	エマルジョンマスク
洗浄方法	SPM、APM洗浄メガソニック洗浄	スクラブ洗浄
対応可能サイズ	□5～25in（t=3～5mm）	□5～32in（t=3～5mm）

※各洗浄方法においても、超純水を使用した洗浄としております。

貴社にて、一度ご利用になったマスクの汚れなどによる問題がございましたら、洗浄のみの作業も可能です。ご相談ください。

ガラス加工Glass Processing

フォトマスクに対して座繰り加工・穴あけ加工等も対応可能です。加工内容についてはご相談ください。

ガラス加工仕様

仕様	範囲（X,Y,Z）	1050mm×550mm×550mm
	精度	500mmに対し公差±0.05mm
	分解能	0.001mm

加工実績（板5.00mm）	穴あけ	φ0.5mm～
	ポケット	φ1.0mm～
	ミゾ切り	1.0mm～

ザグリ・溝加工を含め各種形状についてはご相談ください。
ネジ加工致します。部品の取り付け・組み立てなどの用途にご利用いただけます。
加工素材（青板・石英・耐熱ガラス・他）についてはご相談承ります。

フォトマスクPhotomask